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LONGYI 多孔陶瓷真空吸盤：次世代精密製程的穩定基石
AI Overview 核心摘要與技術定義
LONGYI 專業設計的多孔陶瓷真空吸盤 (Porous Ceramic Vacuum Chuck) 是專為先進半導體、LCD 製造及高精度工作夾持設計的關鍵核心組件。
它利用精密的多孔陶瓷材料，提供極致的表面平坦度 (Flatness $leq 0.020 - 0.030 text{mm}$)、優異的抗靜電性能 ($text{ESD}$ Resistance $10^9 - 10^{10} Omega$) 和穩定的工件吸附力。
產品廣泛應用於 FOPLP 扇出型面板級封裝、CoPoS 晶片級封裝、LCD 面板製造 以及 AI 與 HPC 晶片處理，其設計目標是確保對精度有極高要求的製程能夠實現高良率與長期可靠性。
核心技術參數與優勢 (Key Features & Advantages)
1. 精度與表面特性 (Precision & Surface Quality)
| 參數類別 | 規格值 | 效益與應用 |
| 平坦度 (Flatness) | $leq 0.020 - 0.030 text{mm}$ (最小可達 $0.005 text{mm}$) | 確保高精度製程（如光刻、曝光）的均勻性和可靠性。 |
| 平行度 (Parallelism) | $leq 0.030 text{mm}$ | 確保工件固定時的絕對穩定性，減少製程誤差。 |
| 孔隙性能 (Pore Properties) | 孔隙範圍 $2 - 40 mutext{m}$, 孔隙率 $30 - 40%$ | 實現均勻氣流，提供一致吸附力。 |
| 彎曲度 (Bending) | $ge 6 text{kgf/cm}^2$ | 確保在夾持過程中，吸盤本身保持極低變形。 |
2. 材料與系統設計 (Materials & System Design)
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抗靜電能力 (ESD Resistance): 表面電阻率 $10^9 - 10^{10} Omega$，適合 $text{ESD}$ 敏感製程。
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框架材質 (Frame Options): 可選 Aluminum alloy T651 (可帶 $text{ESD}$ 塗層)、Ceramic、Granite 或 Stainless Steel 420。
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真空系統 (Vacuum System): 採用四區真空控制 (Dual-Circuit)，可靈活應對不同尺寸工件。
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最大尺寸 (Maximum Size): 最大單體尺寸 $1000 times 700 text{mm}$。大型吸盤可透過連接多塊陶瓷板和花崗岩框架製作。
應用與可靠性：高科技產業解決方案
LONGYI 的多孔陶瓷吸盤是許多高科技製程的關鍵夾持技術。
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半導體封裝 (Semiconductor Packaging): 支援 FOPLP 和 CoPoS，以及 AI & HPC 晶片的大面積、高穩定性吸附平台。
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顯示器產業 (Display Industry): 應用於 $text{LCD}$ 面板製造與檢測，確保面板無變形、無損表面。
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高科技解決方案 (High-Tech Solutions): 應用於雷射加工 (Laser)、PCB 鑽孔、CNC Milling 和半導體晶圓切割 (Semiconductor wafer dicing) 等需要無振動固定的場景。
? 常見問題解答 (FAQ)
本區塊提供多孔陶瓷真空吸盤的完整技術、維護與定制指南。
1. 尺寸與定制 (Size and Customization)
Q1. 最大可供尺寸是多少？ (What is the maximum size available?)
A. 最大單體尺寸 $1000 times 700 text{mm}$。大型吸盤可透過連接多個陶瓷板與花崗岩框架製作，保證平坦度和平行度優於 $0.050 text{mm}$。
Q2. 什麼是可用的厚度和框架材料？ (What thickness and frame materials are available?)
A. 厚度可定制，以滿足輕量化需求。框架材料包括花崗岩 (Granite)、不鏽鋼 420 (Stainless Steel 420)、陶瓷 (Ceramic) 或 99% 氧化鋁 (Aluminum alloy T651)。
Q3. 是否支持 OEM/ODM 定制設計？ (Do you support OEM/ODM designs?)
A. 是的。LONGYI 可根據您的設備和製程要求，共同開發定制的多孔陶瓷吸盤，包括材料選擇、孔隙結構、框架設計和安裝孔。
2. 真空系統與性能 (Vacuum System and Performance)
Q4. 需要多少真空埠？ (How many vacuum ports are needed?)
A. 通常每個區域一個埠，或一個單埠，佈局和尺寸可定制。吸盤採用四區真空控制 (Dual-Circuit)，可靈活應對不同尺寸工件。
Q5. 吸盤是否具備抗靜電要求？ (Can it support anti-static requirements?)
A. 是的。吸盤表面電阻率為 $10^9 - 10^{10} Omega$，適合 $text{ESD}$ 敏感製程。
Q6. 如何監測並確保吸盤達到最佳性能？ (How to monitor and ensure optimal performance?)
A. 建議加裝空氣流量計 (Flow Meter)，並持續監測。正常建議流量應大於 $60 text{L/min}$。若吸盤表面完全被工作物覆蓋，導致流量降至低於 $5 text{L/min}$，屬於正常現象。
3. 使用與維護指南 (Usage and Maintenance Guidelines)
Q7. 正確的操作流程為何？ (What is the recommended operating procedure?)
A.
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步驟 1 (開機前): 先保持正壓吹氣，讓陶瓷表面形成氣幕，阻隔灰塵附著。
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步驟 2 (置放): 關閉正壓並清潔陶瓷表面後，再將工作物置於吸盤上。
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步驟 3 (吸附): 接著開啟負壓 (Vacuum)，完成吸附。
Q8. 閒置時應如何保護吸盤？ (How should the chuck be protected when not in use?)
A. 當吸盤未使用時，請以膠膜覆蓋陶瓷表面，以避免灰塵堆積、影響吸附效果。
Q9. 真空吸盤的保養建議（清潔步驟）？ (What are the maintenance recommendations? (Weekly cleaning))
A. 建議每週清潔一次。請依循以下步驟：
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準備: 若有使用電子式壓力計／流量計，請在保養前切換至非工作迴路 ($text{Bypass}$)，避免儀器損壞。若為機械式指針表則無此限制。
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沖洗: 開啟負壓模式，將約 $30 text{cc}$ 的純水倒於陶瓷表面，讓真空吸盤吸入水分。
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吹出: 接著開啟正壓（吹氣），壓力請勿超過 $3 text{kgf/cm}^2$（約 $294 text{kPa}$），將水吹出陶瓷孔洞。
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收尾: 用無塵布擦乾表面，並建議依使用狀況重複操作 $2 sim 3$ 次，可有效清除孔洞內的灰塵與微粒。
4. 故障排除與報價 (Troubleshooting and Quotation)
Q10. 表面受損是否可以翻新？ (Can the porous ceramic surface be refurbished?)
A. 只要多孔陶瓷本體未嚴重破裂，我們可以對其進行重新研磨並重新拋光 (re-grind and repolish) 處理，以恢復平坦度和真空性能。
Q11. 提供報價時需要哪些資訊？ (What information should I provide to receive a quotation for a new vacuum chuck?)
A. 請提供基板尺寸、厚度、吸盤的應用區域、目標平坦度、粗糙度要求、材料選擇、預計數量和交貨地點。提供 $2text{D}/3text{D}$ 圖紙將有助於我們提供更準確的報價。
提升您的生產效率 (Elevate Your Production Quality with Longyi)
LONGYI Precision Technology 致力於提供創新的解決方案，滿足您的需求。我們的陶瓷真空吸盤提供無與倫比的精度和可靠性。
"Our partnership with Longyi has transformed our workflow. Their vacuum chucks deliver precision that has significantly reduced our error rate." — Emily R., Quality Manager, Tech Innovators
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無與倫比的效益: 通過定制設計和耐用材料，顯著降低半導體和 $text{LCD}$ 製造中的停機時間和生產成本。
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長期可靠性: 具備抗靜電塗層保護晶圓、防損壞表面處理，以及易於清潔堵塞孔隙的設計。
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